การสะสมของไอเคมี
ข อม ลอ างอ ง อ านเพ มเต ม Jaeger, Richard C. (2002) "ฟ ล มท บถม". ความร เบ องต นเก ยวก บ Microelectronic Fabrication (2nd ed.) Upper Saddle River: Prentice Hall ISBN 978-0-201-44494-0 .Smith, Donald (1995) การสะสมฟ ล มบาง: หล กการและแนวปฏ บ ต MacGraw ...